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基本信息

項(xiàng)目名稱：
大氣壓微波等離子體與催化劑協(xié)同作用分解CF4
小類：
能源化工
簡(jiǎn)介：
全氟化碳是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中排放的氣態(tài)污染物，是一種需要嚴(yán)格監(jiān)控的溫室氣體，由于其性質(zhì)穩(wěn)定難分解，PFCs的處理一直是的處理一直是研究熱點(diǎn)，科學(xué)家們提出各種方法對(duì)PFCs 有害氣體進(jìn)行處理。本文主要研究的是大氣微波等離子體對(duì)CF4分解工藝，探討研究了微波等離子體的性質(zhì)，并分析各種因素對(duì)分解效果的不同影響差異，以及催化劑對(duì)分解效果和NOx的不同影響。
詳細(xì)介紹：
PFCs被認(rèn)定為最有影響潛力的溫室氣體，在近三十年來引起世界范圍內(nèi)的廣泛關(guān)注，控制PFCs排放成為環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域關(guān)心的熱點(diǎn)問題。CF4作為PFCs中性質(zhì)結(jié)構(gòu)最穩(wěn)的物質(zhì)引起廣泛關(guān)注。近幾年來，隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的快速發(fā)展，CF4排放量會(huì)逐年增加。國(guó)內(nèi)資料顯示，目前我國(guó)PFCS的消減工作剛剛起步，作為《京都議定書》的締約國(guó)，這將制約我國(guó)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展。開展CF4的脫除研究符合我國(guó)的環(huán)境保護(hù)和經(jīng)濟(jì)發(fā)展戰(zhàn)略。大氣壓微波等離子處理CF4與其它等離子體工藝相比，以其高脫除率、高能量利用效率成為近年來的研究熱點(diǎn)。現(xiàn)有文獻(xiàn)關(guān)于大氣壓微波等離子體分解CF4研究主要集中在優(yōu)化實(shí)驗(yàn)裝置，尋求最佳的實(shí)驗(yàn)條件以達(dá)到更高的脫除效率，而對(duì)大氣壓微波等離子體的內(nèi)部特性缺少深入的認(rèn)識(shí)和了解，對(duì)CF4在等離子體中的反應(yīng)過程和機(jī)理沒有深入研究。本文主要研究的是利用微波等離子體與催化劑的聯(lián)合作用去除CF4，深入了解CF4在等離子體中的反應(yīng)過程和機(jī)理。實(shí)驗(yàn)表明，應(yīng)用大氣壓下微波等離子體處理CF4，脫除率達(dá)到99.5%以上；氧氣、水蒸氣、CF4初始濃度對(duì)實(shí)驗(yàn)的影響存在最佳濃度；另外，去除效果還隨微波功率的增加而增加。

作品專業(yè)信息

撰寫目的和基本思路

本文研究了利用大氣壓微波等離子體分解PFCs中最難分解的CF4氣體，以實(shí)現(xiàn)有害氣體的高效率脫除，并減少有毒副產(chǎn)物的產(chǎn)生。 本文以對(duì)PFCs的背景介紹為起點(diǎn)，微波等離子體與催化劑的聯(lián)合作用去除CF4，深入了解CF4在等離子體中的反應(yīng)過程和機(jī)理。得到的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)繪制成曲線圖，研究其分解效果，得出結(jié)論。

科學(xué)性、先進(jìn)性及獨(dú)特之處

大氣壓微波等離子體，無需真空系統(tǒng)，因而設(shè)備簡(jiǎn)單，方便操作，易于安裝和調(diào)試，運(yùn)行成本低，更適合實(shí)際工業(yè)應(yīng)用。在適合的條件下處理PFCs得到接近100%的分解率。大氣壓微波等離子體具有高電子密度和較大的等離子體積，對(duì)大流量高濃度PFCs分解明顯優(yōu)于其他等離子體方法。具有廣闊的應(yīng)用前景。

應(yīng)用價(jià)值和現(xiàn)實(shí)意義

大氣壓微波等離子處理CF4與其它等離子體工藝相比，以其高脫除率、高能量利用率成為近年來的研究熱點(diǎn)?，F(xiàn)有文獻(xiàn)關(guān)于大氣壓微波等離子體分解CF4研究主要集中在優(yōu)化實(shí)驗(yàn)裝置，尋求最佳實(shí)驗(yàn)條件以達(dá)到更高脫除率，而對(duì)其內(nèi)部特性缺少深入的認(rèn)識(shí)和了解，對(duì)CF4在等離子體中的反應(yīng)過程和機(jī)理沒有深入研究。本文主要研究利用利用微波等離子體與催化劑的聯(lián)合作用去除CF4，深入了解CF4在等離子體中的反應(yīng)過程和機(jī)理。

學(xué)術(shù)論文摘要

全氟化碳是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中排放的氣態(tài)污染物，是一種需要嚴(yán)格監(jiān)控的溫室氣體，由于其性質(zhì)穩(wěn)定難分解，PFCs的處理一直是的處理一直是研究熱點(diǎn)，科學(xué)家們提出各種方法對(duì)PFCs 有害氣體進(jìn)行處理。本文主要研究的是大氣微波等離子體對(duì)CF4分解工藝，探討研究了微波等離子體的性質(zhì)，并分析各種因素對(duì)分解效果的不同影響差異，以及催化劑對(duì)分解效果和NOx的不同影響。實(shí)驗(yàn)表明，應(yīng)用大氣壓下微波等離子體處理CF4，脫除率達(dá)到99.5%以上；氧氣、水蒸氣、CF4初始濃度對(duì)實(shí)驗(yàn)的影響存在最佳濃度；另外，去除效果還隨微波功率的增加而增加。

獲獎(jiǎng)情況

無

鑒定結(jié)果

無

參考文獻(xiàn)

[1]解宏端,朱小梅,孫冰.微波等離子體處理PFCs的研究.河北大學(xué)報(bào):自然科學(xué)版,2007,27(增刊):98-101 [2]張廉政.催化劑在等離子體去除CF4過程的促進(jìn)和減排作用.大連：大連海事大學(xué)，2010 [3]孫冰，解宏端，朱小梅，劉永軍.大氣壓微波等離子體發(fā)生裝置.中國(guó)國(guó)家發(fā)明專利 [4]解宏端,常壓下微波等離子體處理四氟化碳的研究 大連：大連海事大學(xué)，2009

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無
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