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電磁驅(qū)動(dòng)介觀壓阻檢測(cè)微機(jī)械陀螺儀
本項(xiàng)目研究的目標(biāo)就是實(shí)現(xiàn)陀螺儀的產(chǎn)品化、生產(chǎn)化。本項(xiàng)目采用的陀螺儀相比于傳統(tǒng)的陀螺儀有顯著的優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn),傳統(tǒng)的陀螺儀多采用靜電驅(qū)動(dòng)電容檢測(cè),電容式的陀螺儀缺點(diǎn)是顯而易見的,如驅(qū)動(dòng)力小、檢測(cè)電路復(fù)雜、襯底必須可導(dǎo)電等。而本項(xiàng)目所設(shè)計(jì)的陀螺儀完全把這些缺點(diǎn)轉(zhuǎn)化成了優(yōu)點(diǎn),而且首次實(shí)現(xiàn)了電子器件RTD和陀螺...