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提出了一種新的干涉強(qiáng)度調(diào)制技術(shù)對(duì)微納米潤(rùn)滑薄膜進(jìn)行測(cè)量,可保證較大膜厚測(cè)量范圍及高的測(cè)量分辨率的同時(shí),避免繁瑣的干涉級(jí)次人工計(jì)數(shù)。完成了光強(qiáng)調(diào)制技術(shù)理論分析,并給出解析解,并分析了雙色光源波長(zhǎng)選擇、初相位及半峰全寬對(duì)光強(qiáng)調(diào)制的影響。最后給出測(cè)量實(shí)例,對(duì)比驗(yàn)證了所提方法的正確性。
在機(jī)械潤(rùn)滑領(lǐng)域,油膜厚度的測(cè)量技術(shù)不斷進(jìn)步,但到今天為止,始終不能做到自動(dòng)化、大量程膜厚動(dòng)態(tài)測(cè)量---矛盾集中在單色光需要人為級(jí)次判別和彩色光的量程較小。針對(duì)該課題,本文采用折中二者的方法,基于雙色光干涉,發(fā)現(xiàn)調(diào)制規(guī)律,提出新的自動(dòng)化測(cè)試方法:雙色光干涉強(qiáng)度調(diào)制技術(shù)。該光學(xué)干涉方法可以應(yīng)用于潤(rùn)滑等相關(guān)領(lǐng)域微納米薄膜的厚度測(cè)量,不需級(jí)次計(jì)數(shù),消除標(biāo)定誤差,簡(jiǎn)潔高效,有利于薄膜厚度的動(dòng)態(tài)測(cè)量自動(dòng)化的實(shí)現(xiàn)。 完成了光強(qiáng)調(diào)制技術(shù)理論分析,并給出解析解,最后分析了雙色光源波長(zhǎng)選擇、初相位及半峰全寬對(duì)光強(qiáng)調(diào)制的影響。結(jié)果表明強(qiáng)度調(diào)制技術(shù)的測(cè)量范圍主要受雙色光源波長(zhǎng)的影響,初相位及半峰全寬對(duì)光強(qiáng)調(diào)制周期的影響較小。測(cè)量時(shí)選取光源紅綠波長(zhǎng)(比如紅光593 nm,綠光532 nm)差距小,可測(cè)膜厚范圍較大。為驗(yàn)證所提出測(cè)量方法的正確性,建立了測(cè)量系統(tǒng),對(duì)靜態(tài)下球-盤(pán)赫茲接觸表面間隙進(jìn)行了測(cè)量,與經(jīng)典結(jié)果有很好的一致性。
無(wú)