青島理工大學(xué)專區(qū)
基本信息
- 作品名稱：
- 潤滑薄膜測量的雙色光干涉強度調(diào)制新技術(shù)
- 大類：
- 自然科學(xué)類學(xué)術(shù)論文
- 小類：
- 機械與控制
- 簡介：
提出了一種新的干涉強度調(diào)制技術(shù)對微納米潤滑薄膜進行測量，可保證較大膜厚測量范圍及高的測量分辨率的同時，避免繁瑣的干涉級次人工計數(shù)。完成了光強調(diào)制技術(shù)理論分析，并給出解析解，并分析了雙色光源波長選擇、初相位及半峰全寬對光強調(diào)制的影響。最后給出測量實例，對比驗證了所提方法的正確性。
- 詳細介紹：
在機械潤滑領(lǐng)域，油膜厚度的測量技術(shù)不斷進步，但到今天為止，始終不能做到自動化、大量程膜厚動態(tài)測量---矛盾集中在單色光需要人為級次判別和彩色光的量程較小。針對該課題，本文采用折中二者的方法，基于雙色光干涉，發(fā)現(xiàn)調(diào)制規(guī)律，提出新的自動化測試方法：雙色光干涉強度調(diào)制技術(shù)。該光學(xué)干涉方法可以應(yīng)用于潤滑等相關(guān)領(lǐng)域微納米薄膜的厚度測量，不需級次計數(shù)，消除標定誤差，簡潔高效，有利于薄膜厚度的動態(tài)測量自動化的實現(xiàn)。 完成了光強調(diào)制技術(shù)理論分析，并給出解析解，最后分析了雙色光源波長選擇、初相位及半峰全寬對光強調(diào)制的影響。結(jié)果表明強度調(diào)制技術(shù)的測量范圍主要受雙色光源波長的影響，初相位及半峰全寬對光強調(diào)制周期的影響較小。測量時選取光源紅綠波長（比如紅光593 nm，綠光532 nm）差距小，可測膜厚范圍較大。為驗證所提出測量方法的正確性，建立了測量系統(tǒng)，對靜態(tài)下球-盤赫茲接觸表面間隙進行了測量，與經(jīng)典結(jié)果有很好的一致性。
- 獲獎情況：
無